انت هنا الان : شبكة جامعة بابل > موقع الكلية > نظام التعليم الالكتروني > مشاهدة المحاضرة

Chemical Vapour Deposition (CVD) An Introduction

Share |
الكلية كلية الهندسة/المسيب     القسم هندسة السيارات     المرحلة 3
أستاذ المادة جعفر هادي عبود المياح       31/10/2018 12:23:31
CVD Processes
CVD covers processes such as:
• Atmospheric Pressure Chemical Vapour Deposition (APCVD)
• Low Pressure Chemical Vapour Deposition (LPCVD)
• MetalOrganic
Chemical Vapour Deposition (MOCVD)
• Plasma Assisted Chemical Vapour Deposition (PACVD) or Plasma Enhanced
Chemical Vapour Deposition (PECVD)
• Laser Chemical Vapour Deposition (LCVD)
• Photochemical Vapour Deposition (PCVD)
• Chemical Vapour Infiltration (CVI)
• Chemical Beam Epitaxy (CBE)
How Does CVD Work?
Precursor gases (often diluted in carrier gases) are delivered into the reaction chamber
at approximately ambient temperatures. As they pass over or come into contact with a
heated substrate, they react or decompose forming a solid phase which and are
deposited onto the substrate. The substrate temperature is critical and can influence
what reactions will take place.
Coating Characteristics
CVD coatings are typically:
• Fine grained
• Impervious
• High purity
Chemical Vapour Deposition (CVD) - An Introduction
Saved from URL: https://www.azom.com/article.aspx?ArticleID=1552

• Harder than similar materials produced using conventional ceramic fabrication
processes
CVD coatings are usually only a few microns thick and are generally deposited at fairly
slow rates, usually of the order of a few hundred microns per hour.
CVD Apparatus
A CVD apparatus will consist of several basic components:
• Gas delivery system – For the supply of precursors to the reactor chamber

المادة المعروضة اعلاه هي مدخل الى المحاضرة المرفوعة بواسطة استاذ(ة) المادة . وقد تبدو لك غير متكاملة . حيث يضع استاذ المادة في بعض الاحيان فقط الجزء الاول من المحاضرة من اجل الاطلاع على ما ستقوم بتحميله لاحقا . في نظام التعليم الالكتروني نوفر هذه الخدمة لكي نبقيك على اطلاع حول محتوى الملف الذي ستقوم بتحميله .
الرجوع الى لوحة التحكم